抛光主轴**转速 6000rpm/min；抛光主轴具备中心出水功能；抛光主轴连接口 HD25；抛光主轴径向跳动≤3um。X 轴行程 550mm，X 轴行走平行度±6um/550mm，X 轴定位精度±9um/300mm ，X 轴重复定位精度 5um，Z 轴行程 350mm，Z 轴行走平行度±6um/350mm，Z 轴定位精度±9um/350mm，Z 轴重复定位精度 5um 。C轴**转速 150rpm/min；C轴端面跳动≦0.003mm；C轴 径向跳动≦0.003mm。